Разработка ФИАН ускорит и удешевит создание опытных образцов микроструктур

• Ученые Физического института им. П.Н. Лебедева РАН представили установку контактной масочной литографии.
• Установка позволяет экономить время и ресурсы при создании опытных образцов микроструктур.
• Литограф продемонстрировали на форуме «Микроэлектроника-2024».
• Литография - нанесение или вытравливание рисунка на пластине.
• Установка контактной мини-масочной литографии позволяет быстро переносить рисунок с малых теневых масок на подложки.
• Установка предназначена для создания тестовых структур и не предназначена для массового производства.
• Ученые также представили прототип установки проекционной безмасочной литографии в активной стадии разработки.