• Первый серийный российский фотолитограф для производства микросхем по технологическим нормам 350 нм будет поставлен компании «Маппер» в декабре 2026 года.
• Установка «Прогресс СТП-350» стоимостью 392 млн рублей без НДС и 561 млн рублей с расширенным сервисом и гарантией будет использоваться для производства микросхем.
• Установка создавалась с 2021 года совместно с белорусским предприятием «Планар» и предназначена для пластин диаметром до 200 мм.
• «Прогресс СТП-350» использует твердотельный лазер вместо ртутной лампы и имеет разрешение 350 нм.
• 350-нм технологии применяются в силовой и автомобильной электронике, промышленных системах и других устройствах, где важна доступность производства, надежность и возможность изготовления специализированной элементной базы.
• Установка будет использоваться на МЭМС-фабрике «Маппер», специализирующейся на выпуске чувствительных элементов на кремниевых пластинах.