• Ученые из МФТИ разработали подход для учета анизотропии кристалла при создании фотонных элементов.
• Подход основан на фрикционной сканирующей зондовой литографии и позволяет изготавливать наноразмерные волноводы из GaInS3.
• GaInS3 обладает высоким показателем преломления и прозрачен в значительной части видимого диапазона.
• Однако анизотропия материала затрудняет изготовление волноводов из-за разных механических свойств в разных направлениях.
• Ученые использовали анизотропию GaInS3 для определения оптимального направления резки волноводов.
• Обработка GaInS3 проводилась с помощью фрикционной сканирующей зондовой литографии, которая позволяет создавать волноводы толщиной до 70 нанометров.
• Новый подход может помочь уменьшить размеры элементов интегральной фотоники и создавать более плотные фотонные схемы.

«В нашей работе были впервые изготовлены полосковые волноводы на основе трисульфида галлия-индия с помощью фрикционной атомно-силовой литографии и продемонстрирована их работоспособность в видимом и ближнем ИК-диапазоне»,— рассказал Алексей Кузнецов.