ASML передала заказчику первый литографический сканер для трехмерной упаковки

ASML передала заказчику первый литографический сканер Twinscan XT: 260 для трехмерной упаковки.
Сканер разработан с нуля для передовой трехмерной упаковки и предназначен для использования в процессах интеграции.
XT: 260 использует длину волны 365 нм и разрешение около 400 нм, обеспечивая производительность около 270 пластин в час.
ASML стремится сократить разрыв между начальной и конечной стадиями процесса литографии.
Передовая упаковка становится все более важной частью цепочки производства полупроводников.
Технологии, разработанные ASML в существующих сканерах, могут быть частично применены в новом поколении систем.
Компания не раскрыла, кто был заказчиком сканера XT: 260.