• Ученые МФТИ создали уникальный отечественный литограф для создания 3D-объектов с размерами элементов 150 нм и разрешением 350 нм.
• Разработанный литограф дешевле аналогичных иностранных приборов и не имеет коммерческих аналогов в России.
• Новое оборудование можно применять при создании микрооптических элементов фотонных интегральных схем, микрокаркасных систем для роста тканей и для прототипирования микроэлектронных элементов.
• Для реализации литографии используются ультракороткие лазерные импульсы видимого диапазона, что существенно уменьшает стоимость оборудования и его обслуживания.
• В качестве материала для 3D-микроструктур используются оптически прозрачные биосовместимые фотополимеры.
• Одно из основных преимуществ нового литографа - возможность работы в режиме 3D-принтера, что позволяет создавать формы с размерами элементов меньше, чем способен увидеть невооруженный глаз.
• Разработка ведется в сотрудничестве с Нижегородским институтом металлоорганической химии им. Г.А. Разуваева РАН.
• Сейчас проект находится на заключительном этапе ОКР, проводимых по заказу Министерства образования и науки Российской Федерации.

«Также прибор позволит сделать прорыв в оптоэлектронике: в технологии оптического соединения элементов фотонных интегральных схем с помощью полимерных оптоволоконных элементов. Это может стать аналогом распайке элементов на печатных платах в фотонике. Сейчас на российском рынке приборов нет отечественных конкурентов в этой области, и проект способствует импортозамещению, т.к. на рынке доминируют в основном немецкие приборы», – рассказал главный конструктор проекта – руководитель конструкторского бюро оптической литографии Данила Колымагин.