• Разработана сверхточная технология твердотельного плазменного травления для полупроводников.
• Технология основана на методе точного управления плазмой.
• DirectDrive обещает беспрецедентную точность и чувствительность в 100 раз выше аналогов.
• Разработка DirectDrive заняла около 20 лет.
• Инженер Патрик Прибил разработал устройство для управления плазмой в процессе травления полупроводников.
• Прибил получил финансирование и оборудование для продолжения работы над системой переключения радиочастот.
• Новый метод меняет уровень мощности плазмы всего за 50 микросекунд.
• DirectDrive производит плазму с чувствительностью в 100 раз выше, чем у предыдущих источников.
• Следующим шагом станет повышение эффективности метода.

«DirectDrive, первый в отрасли твердотельный генератор плазмы, производит плазму с чувствительностью в 100 раз выше, чем у предыдущих источников, что приводит к меньшему количеству дефектов формирования рисунка в глубоком ультрафиолете», — говорится в пресс-релизе компании.