Новый шаг к созданию архитектуры промышленного рентгеновского литографа сделан в Институте физики микроструктур РАН

В Институте физики микроструктур РАН создан уникальный стенд, прототип лазерно-плазменного источника рентгеновского литографа на длину волны 11,2 нм.
Стенд предназначен для тестирования ключевых элементов и систем будущего литографа и включает сверхзвуковое сопло, твердотельный лазер и коллектор рентгеновского излучения.
Стенд оснащен диагностиками для исследования параметров источника рентгеновского излучения.
Теоретическое обоснование лазерно-плазменного источника с ксеноновой мишенью разработано в ИПФ РАН.
В ходе экспериментальных исследований на стенде получен разряд с размером излучающей области 150x400 мкм и коэффициент конверсии лазерного излучения в рентгеновское около 3%.
Ксеноновый источник не производит потока высокоэнергетичных ионов, разрушающих коллектор.
Впервые продемонстрирована высокая эффективность конверсии мощности лазерного излучения в рентгеновское при работе с непрерывной ксеноновой струей.
В ИПФ РАН создается твердотельный лазер с диодной накачкой на основе иттербий-легированного иттрий-алюминиевого граната для замены коммерческого лазера на стенде.