Китайцы создали прорывной твердотельный лазер для производства микрочипов

Китайские ученые создали прорывной твердотельный лазер для производства микрочипов.
Лазер излучает когерентный свет с длиной волны 193 нм, используемый в производстве полупроводников.
Масштабирование мощности лазера позволит использовать его для изготовления передовых микрочипов.
Китай стремится создать собственную передовую литографию, несмотря на усилия США остановить его прогресс.
Литографическое оборудование использует эксимерный лазерный газ для создания луча света с длиной волны 193 нм.
Китайский опытный образец генерирует свет с частотой 193 нм без использования эксимерного газа.
Вместо эксимерного газа используется кристаллический усилитель из иттрий-алюминиевого граната (Yb: YAG).
Тестовая система имеет ширину линии менее 880 МГц, сопоставимую с показателями современных коммерческих литографических установок.
Пока выходная мощность опытной системы ниже, чем у производственных систем на основе эксимерного газа, но технология может быть использована в производстве передовой микроэлектроники.