• Okinawa Institute of Science and Technology (OIST) разработала недорогой и относительно простой EUV-сканер.
• Новая литографическая машина имеет меньше компонентов, чем сканеры ASML, что делает конструкцию надежнее и дешевле.
• Японские литографы могут снизить стоимость чипов, так как стоят меньше, чем нидерландские.
• В новой машине используется метод «двойного линейного поля» для повышения точности изображения на кремниевой пластине.
• OIST также заявляет о более высокой надежности и энергоэффективности своих литографов по сравнению с ASML.
• ASML продолжает успешно работать, несмотря на некоторые проблемы, и имеет множество клиентов.
• OIST стремится решить проблемы литографических машин, такие как упрощение конструкции, снижение энергопотребления и цены.
• ASML использует более совершенную оптику для создания элементов толщиной до 8 нм и увеличения плотности размещения транзисторов в три раза.