• Инженеры РТУ МИРЭА разработали технологию алмазного шлифования пластин монокристаллического сапфира.
• Новая разработка позволяет увеличить скорость съема материала, сократить время обработки и минимизировать дефектный слой.
• Монокристаллический сапфир - стратегический материал в полупроводниковой промышленности, используется для выращивания светодиодов, лазерных диодов и СВЧ-микросхем.
• Традиционное шлифование свободным абразивом дает высокую шероховатость поверхности и оставляет подповерхностный трещиноватый слой.
• Ученые РТУ МИРЭА предложили использовать связанный алмазный инструмент для обработки сапфира.
• Предложенный трехступенчатый цикл позволяет достичь высокой производительности и микроскопической шероховатости поверхности.
• Технология сокращает время финишной полировки и снижает риск брака, особенно для тонких приборных пластин.

«Сапфир — материал исключительно прочный, но хрупкий. Традиционное шлифование свободным абразивом оставляет глубокий трещиноватый слой, и чем больше размер абразивных зерен, тем глубже повреждения. Мы разработали инструменты со связанными алмазными зернами и модифицированными связками, которые переключают режим разрушения с ударного на сдвиговой. Это позволило кардинально увеличить скорость съема материала и одновременно сократить глубину дефектного слоя. Для промышленности это означает снижение себестоимости производства подложек и повышение их качества», — рассказывает Владимир Кондратенко, доктор технических наук, профессор, главный научный сотрудник Инжинирингового центра РТУ МИРЭА.