- Разработана технология производства сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала.
- Технология позволяет повысить качество компонентов для квантовых вычислителей более чем в 10 раз.
- Тантал устойчив к воздействию кислот и агрессивных сред, что позволяет удалять загрязнения и оксиды с поверхности.
- Естественный оксид тантала содержит меньше дефектов, что обеспечивает более длительную сохранность квантовой информации.
- Качество технологии проверено на танталовых микроволновых резонаторах с добротностью более 10 млн.
- Получение высокочистого альфа-тантала было основной сложностью при разработке технологии.
- Проведено более 1 тыс. экспериментов для объяснения механизма фазовой селекции и формирования альфа- и бета-тантала.
- Первые поставки квантовых сопроцессоров на танталовой платформе запланированы на осень 2026 года.
«При разработке технологии мы провели более 1 тыс. экспериментов, и эти результаты помогли нам выдвинуть гипотезу механизма фазовой селекции, объясняющую формирование альфа- и бета-тантала. Используя методы просвечивающей микроскопии с атомарным разрешением, мы проанализировали морфологию десятков серийно изготовленных пластин и отследили субнанометровые структурные особенности альфа-тантала на кремнии - их просто невозможно увидеть обычными приборами», - отметил разработчик технологий, старший научный сотрудник Квантум Парка Евгений Зикий, чьи слова приводит пресс-служба.