• Ученые Новосибирского государственного университета получили высококачественные пленки нитрида алюминия.
• Пленки могут использоваться для систем связи 5G.
• Оптимизированы параметры процесса магнетронного распыления для получения пленок с наилучшими характеристиками.
• Пленки нитрида алюминия используются в резонаторах для систем связи.
• Более высокие частоты работы резонаторов с пленками AlN обеспечивают высокую скорость передачи данных.
• Получены пленки на специальной установке магнетронного распыления.
• Определены оптимальные параметры для получения пленок высокого качества.
• Ученые работают над созданием прототипов многослойных резонаторов и планируют модифицировать установку для получения пленок.