• Специалисты НЦМУ СПбПУ создали отечественную импортозамещающую установку вакуумного магнетронного осаждения.
• Установка позволяет наносить тончайшие покрытия из различных материалов на подложки кремния, карбида кремния, алмаза, кварца.
• Основное назначение установки - осаждение металлов заданной толщины на подложки, используемые в полупроводниковой промышленности.
• Изделия, полученные с помощью вакуумного магнетронного осаждения, используются в микроэлектронике, оптоэлектронике, фотовольтаике и других отраслях.
• Установка может заменить широко используемые комплексы иностранного производства и модернизировать оборудование на мелкосерийных предприятиях.
• Магнетрон позволяет распылять ферромагнитные металлы и работать с мишенями с косвенным и прямым охлаждением.
• Установка будет представлена на IV Конгрессе молодых ученых в Сириусе в 2024 году в рамках Десятилетия науки и технологий.