• Ученые Новгородского государственного университета модернизировали технологию вакуумного напыления для производства деталей микро- и наноэлектроники.
• В рамках проекта для регионального предприятия ученые усовершенствовали работу установки, решив ключевую проблему неравномерного нанесения слоев, что приводило к браку.
• Установка УВН 71-ПЗ наносит тонкие резистивные или металлические слои на подложку изделий для микроэлектроники и наноэлектроники.
• Проблема работы данной машины заключалась в том, что слои наносились неравномерно, что приводило к браку готовых изделий.
• Чтобы модернизировать эту установку, необходимо было порядка 15 млн рублей, а заменить на новое - 50 млн.
• В НовГУ нашли более экономически выгодный способ повысить качество наносимого материала и создали новый «образ» для установки - разработали заслонку с отверстием специальной формы.
• Установка такой заслонки не требует демонтажа УВН 71-ПЗ и может быть полезна всем предприятиям, которые сталкиваются с подобной проблемой в установках с аналогичной конструкцией.