- Ученые Новгородского государственного университета модернизировали технологию вакуумного напыления для производства деталей микро- и наноэлектроники.
- В рамках проекта для регионального предприятия ученые усовершенствовали работу установки, решив ключевую проблему неравномерного нанесения слоев, что приводило к браку.
- Установка УВН 71-ПЗ наносит тонкие резистивные или металлические слои на подложку изделий для микроэлектроники и наноэлектроники.
- Проблема работы данной машины заключалась в том, что слои наносились неравномерно, что приводило к браку готовых изделий.
- Чтобы модернизировать эту установку, необходимо было порядка 15 млн рублей, а заменить на новое - 50 млн.
- В НовГУ нашли более экономически выгодный способ повысить качество наносимого материала и создали новый «образ» для установки - разработали заслонку с отверстием специальной формы.
- Установка такой заслонки не требует демонтажа УВН 71-ПЗ и может быть полезна всем предприятиям, которые сталкиваются с подобной проблемой в установках с аналогичной конструкцией.
В НовГУ модернизировали технологию вакуумного напыления деталей микроэлектроники
12 авг 2025
Краткий пересказ
от нейросети YandexGPT
Источник:
nauka.tass.ru
Обложка: Изображение с сайта novsu.ru