- Ученые Новосибирского государственного университета получили высококачественные пленки нитрида алюминия. - Пленки могут использоваться для систем связи 5G. - Оптимизированы параметры процесса магнетронного распыления для получения пленок с наилучшими характеристиками. - Пленки нитрида…