Результатов найдено: 31

Новый шаг к созданию архитектуры промышленного рентгеновского литографа сделан в Институте физики микроструктур РАН

26 фев 2026
0
0
…коэффициент конверсии лазерного излучения в рентгеновское около 3%. - Ксеноновый источник не производит потока высокоэнергетичных ионов, разрушающих коллектор. - Впервые продемонстрирована высокая эффективность конверсии мощности лазерного излучения в рентгеновское при работе с…