В России подготовили к выходу на серийное производство принтер для печати микросхем без чернил и растворителей

Исследователи из МФТИ создали принтер для аддитивного производства микроэлектронных компонентов без использования чернил и растворителей.
Принтер использует метод электрического газового разряда для синтеза наночастиц и их укладки на подложку с помощью аэрозольного пучка.
Новый подход позволяет создавать чистые микроструктуры без последующей обработки и открывает возможности для внедрения сухой аэрозольной печати в микроэлектронику.
Работа опубликована в журнале Physical and Chemical Processes in Atomic Systems.
Исследование выполнено при поддержке Министерства науки и высшего образования РФ.
Принтер объединяет четыре последовательно реализуемых процесса: генерацию частиц, лазерную модификацию формы и размера, фокусировку аэрозольного пучка и лазерное спекание наночастиц на подложке.
Основным элементом установки является генератор наночастиц на основе импульсного газового разряда.
Принтер имеет дополнительные режимы работы для создания плазмонных наноструктур, газовых сенсоров и других приложений.
Новый метод устраняет риск загрязнения формируемой структуры и сокращает время и стоимость производства микроэлектронных компонентов.