- Ученые СПбГУ разработали дистанционный способ измерения температуры микроэлектронных устройств.
- Метод основан на способности люминофора менять свое свечение при нагреве.
- Предложенные материалы могут использоваться в микроэлектронике и медицине для контроля температуры интегральных схем и живых клеток.
- Результаты исследования опубликованы в журнале Applied Materials Today.
- Обычные способы измерения температуры не подходят для микроэлектроники из-за больших размеров датчиков и электромагнитных помех.
- Люминесцентные сенсоры могут точнее определить температуру, но их оптимальный состав еще не подобран.
- Ученые использовали оксиды редкоземельных элементов, модифицированные ионами эрбия и иттербия, для контроля температуры.
- Разработанные сенсоры оказались эффективными тепловыми датчиками в диапазоне 25-110 °C.
- Эксперимент на реальном микроэлектронном устройстве подтвердил надежность метода.
«Предложенные нами сенсоры оказались достаточно эффективными тепловыми датчиками, работающими в диапазоне, важном для задач микроэлектроники. Они позволят дистанционно измерять нагрев электронных компонентов с высокой чувствительностью. В дальнейшем мы планируем повысить надежность и точность контроля теплового состояния с помощью одновременного анализа нескольких температурно зависимых люминесцентных параметров», — сказал руководитель проекта, специалист по спектрофлуориметрии Научного парка СПбГУ Илья Колесников