• ASM представила XP8 Vertos Flowable Carbon - первую на рынке текучую углеродную пленку для плазменно-химического осаждения из газовой фазы.
• Инновация объединяет в одном процессе заполнение зазоров и планаризацию, снижая сложность и повышая контроль.
• ASM планирует использовать Flowable Carbon для производства 3D-устройств с более сложными архитектурами.
• Текучая углеродная пленка упрощает обработку и позволяет отказаться от дополнительных операций.
• Flowable Carbon обладает термической стабильностью и селективным осаждением на определенных участках поверхности.
• Технология ASM открывает перспективы для создания архитектур устройств, невозможных с использованием существующих технологий.

Пленка Flowable Carbon сокращает количество технологических циклов, необходимых для контроля топографии. Она способна проникать в элементы сложной геометрии чипа и заполнять их снизу вверх. При этом материал самовыравнивается, образуя плоскую и однородную поверхность, готовую к следующему этапу формирования рисунка.